三轴加速度传感器可分为传感器（Sensor）和致动器（Actuator）两类。其中传感器会承受外界的传递的物理性输入，通过感测器转换为电子信号，再然后转换为可用的信息，如加速度传感器、陀螺仪、压力传感器等。其首要感应方式是对一些微小的物理量的变化进行测量，如电阻值、电容值、应力、形变、位移等，再通过电压信号来表明这些变化量。致动器则承受来自控制器的电子信号指令，做出其要求的反响动作，如光敏开关、MEMS显示器等。

　　现在的加速度传感器有多种完成方式，首要可分为压电式、电容式及热感应式三种，这三种技能各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技能原理为例。电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振荡等运动状况。其首要为利用硅的机械性质设计出的可移动组织，组织中首要包含两组硅梳齿（Silicon Fingers），一组固定，另一组随即运动物体移动；前者相当于固定的电极，后者的功能则是可移动电极。当可移动的梳齿产生了位移，就会随之产生与位移成份额电容值的改动。

　　当运动物体出现变速运动而产生加速度时，其内部的电极方位发生变化，就会反映到电容值的变化（ΔC），该电容差值会传送给一颗接口芯片（InteRFace Chip）并由其输出电压值。因此3轴加速度传感器必然包含一个单纯的机械性MEMS传感器和一枚ASIC接口芯片两部分，前者内部有成群移动的电子，首要测量XY及Z轴的区域，后者则将电容值的变化转换为电压输出。